12月30日，PCB行业资深专家梁志立高工等到访珠海恒格微电子装备有限公司（以下简称“珠海恒格”）交流。广东省电路板行业协会（GPCA）常务副秘书长陈世荣、高工刘晓军一行陪同到访，到场的还有贝加尔总经理李必杰等。珠海恒格总经理李志强等领导热情接待，并带大家参观了等离子机总装区、等离子调试中心。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

在参观现场，李志强总经理对珠海恒格产品进行了介绍，还特别为大家展示了两款最新技术产品设备，这两款最新技术产品设备分别是“恒格等离子PL06-300（RTR）”和“恒格微波等离子PMW-2016A”。

 

恒格等离子PL06-300（RTR）/Henger Plasma ROLL to ROLL

 

 

应用：

 

1、FPC孔内除胶、表面清洁；

2、PI表面粗化及清洁；

3、电子材料表面粗化、清洁；

4、CoveHay表面粗化、清洁；

5、挠性材料的表面清洁。

 

恒格微波等离子PMW-2016A/Henger Plasma PMW-2016A

 

 

应用：

 

1、微波等离子体相比射频感性（ICP）耦合等离子体的密度高。适合在树脂中有高蚀刻速率要求的工艺;

 

2、微波等离子体自偏压低，离子溅射和注入效应小。适合在MEMS制造中，预埋芯片的树脂蚀刻、半导体先进封装;

 

3、微波等离子体由于是体积加热，因此密度非常均匀，加上设备采用往复扫描蚀刻方式，可以获得很好的整体蚀刻均匀性;

 

4、微波等离子体具有各向同性的特点，对工件表面细微沟槽有很好的蚀刻、清洗效果。

 

特性：

 

1、无需通过电极即可实现微波激励；

2、可满足高蚀刻速率工艺要求；

3、扫描式处理，整体均匀性大于等于90%。

 

值得一提的是，在等离子机总装区、等离子调试中心现场，可以看到各个产品正按计划有序的进行组装和调试，员工也细心的对设备关键部件进行安装，严格的安装步骤，正也体现着珠海恒格对产品质量的严格把控。

 

 

 

 

 

 

 

另外还有一点就是珠海恒格文化建设。在珠海恒格，随处可见各类宣传标语以及在办公区的“因为有你，所以精彩”企业风采墙，都能让人感受到珠海恒格对产品品质的严格要求，也让人倍感珠海恒格大家庭的温暖。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

珠海恒格微电子装备有限公司成立于2005年11月11日，是一家专注新型等离子体工业应用研究、开发、生产及销售的高科技企业。

 

 

 

 

 

恒格新型等离子处理系统，专用于高TG材料、5G、6G材料的应用和处理、集成电路IC封装载板、半导体先进封装的蚀刻及清洗。独特的工艺设计突破了传统工艺的弊端，腔体采用航空铝合金材质，无缝焊接技术，真空漏率低，均匀性表现优异。公司现已成立芯片及晶圆等离子蚀刻的专业研发团队。